松盛气体质量流量控制器AC-S030C:质量流量控制器/流量计由流量传感器、分流器通道、流量放大电路、调节阀、PID 控制电路以及外部接头、外壳组成。产品的工作原理为:气体质量流量控制器/流量计采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(*温度压力补偿),将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等,分流器决定主通道的流量。
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