动态气体混合装置SSGM:该装置的配气原理为质量流量混合法。通过准确的设置,便可配置出10-8~10-2含量的各种标准气体。用*特的热式气体质量流量控制器原理,测量和控制的范围广泛,精度高,设备响应速度快,可内置多种标定气体,支持触摸屏本地按键快速切换,也可通过软件操作。
整机结构合理、性能稳定、操作方便,内部设计无死角,方便拆卸和维护。设备采用智能PLC控制,自动化程度高,触摸屏操作 ,可设定工作参数,设备具有自动启停及故障报警功能,确保生产完成。
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